尼康正开发锐布 Litho Booster 1000 对准站：可提升晶圆键合套刻精度

锐布LithoBooster1000能够在曝光工艺前对晶圆进行高精度测量，并将补正值前馈给光刻机，从而大幅提升套刻精度。其相较上代对准站实现了更高精度的多点及绝对值测量。先进制程半导体的3D立体化是大势所趋。在利用多台光刻机进行多层结构曝光的制造工艺中，尤其是在晶圆对晶圆(WoW)键合环节，晶圆极易发生形变或位移现象。而可兼容不同厂商光刻机的LithoBooster1000能进一步提升这一过程的良率。广告声明：文内含有的对外跳转链接（包括不限于超链接、二维码、口令等形式），用于传递更多信息，节省甄选时间，结果仅供参考，亚汇网所有文章均包含本声明。